美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209的空氣潔凈度級別

級別名稱

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

容積單位

容積單位

容積單位

容積單位

容積單位

單位

英制單位

(m³)(ft³)

(m³)(ft³)

(m³)(ft³)

(m³) (ft³)

(m³) (ft³)

M1.5

1

1240 35.3

265 7.50

106 3.00

35.3 1.00

.......

M2.5

10

1240 350

26500 750

1060 30.0

353 10.0

.......

M3.5

100

... ...

26500 750

10600 300

3530 100

.......

M4.5

1000

... ...

... ...

... ...

35300 100

247.7 7.00

M5.5

10000

... ...

... ...

... ...

353000 1000

2470 70.0

M6.5

100000

... ...

... ...

... ...

3530000 100000

247000 700